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摘要:久久游戏娱乐:主页 特种气体工艺系统的设计应满足实验室实验对特种气体工艺参数,污染控制,使用的安全要求,以满足正常的供气需求。 高纯气体是指纯度在5N(99.999%)以上的气体,
久久游戏娱乐:主页特种气体工艺系统的设计应满足实验室实验对特种气体工艺参数,污染控制,使用的安全要求,以满足正常的供气需求。
高纯气体是指纯度在5N(99.999%)以上的气体,高纯气体系统则是指高纯气体的控制、输送、分配、管理的整个过程。
特种气体管道输送系统应包括特种气体储存、分配管道系统、工艺设备和尾气处理系统的管道以及管件、阀门、过滤器、减压装置、压力释放装置、压力检测装置等部件。
特种气体管理系统应配置特种气体的连续检测、指示、报警的功能,并应能记录、存储和打印;宜为独立的系统,应具有特种气体探测、应急处理、工作管理、监视、数据传输与处理的功能。
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